TÜRKÇE
ENGLISH
Genel Bilgi
| Kod | BMM0071 |
| Ad | Mikrofabrikasyon |
| Dönem | 2023-2024 Eğitim-Öğretim Yılı |
| Yarıyıl | . Yarıyıl |
| Süre (T+U) | 3-0 (T-U) (17 Hafta) |
| AKTS | 6 AKTS |
| Yerel Kredi | 3 Yerel Kredi |
| Eğitim Dil | Türkçe |
| Seviye | Yüksek Lisans Dersi |
| Tür | Normal |
| Öğretim Şekli | Yüz Yüze Öğretim |
| Bilgi Paketi Koordinatörü | Dr. Öğr. Üyesi MUSTAFA İSTANBULLU |
Dersin Amacı / Hedefi
Bu dersin amacı yarıiletken devre elemanlarının fabrikasyon süreçlerinin tanıtılması ve bilgisayar destekli tasarım programları ile simulasyonlarının gerçekleştirilmesidir.
Dersin İçeriği
Mikrofabrikasyona giriş, Kristal büyütme teknikleri, Epitaksi, Doping, Kimyasal buharla serme tekniği, Moleküler ışın epitaksisi, Atomik katman depozisyonu, Termal oksidasyon, Islak ve kuru oksidasyon, Fotolitografi, Difüzyon, Drive-in işlemi, Aşındırma, İyon implantasyonu, İnce film depozisyonu, Metalizasyon
Dersin Ön Koşulu
Dersin ön koşulu bulunmamaktadır.
Kaynaklar
Gary S. May, Simon M. Sze, "Fundamentals of semiconductor fabrication", Wiley
Notlar
S. Franssila, "Introduction to Microfabrication", Wiley
Dersin Öğrenme Çıktıları
| Sıra | Dersin Öğrenme Çıktıları |
|---|---|
| ÖÇ01 | Yarıiletken elementleri tanır |
| ÖÇ02 | Difüzyon sürecini öğrenir |
| ÖÇ03 | Oksitleme sürecini öğrenir |
| ÖÇ04 | Kimyasal buharla serme sürecini öğrenir |
| ÖÇ05 | Fotolitografi sürecini öğrenir |
| ÖÇ06 | İyon implantasyonu yöntemlerini öğrenir |
| ÖÇ07 | Dağlama sürecini öğrenir |
| ÖÇ08 | Metal serme yöntemlerini öğrenir |
| ÖÇ09 | Temel mikrofabrikasyon süreçlerininin TCAD yazılımı ile benzetimini yapar |
Program Öğrenme Çıktıları ile İlişkisi
| Sıra | Tür | Program Öğrenme Çıktıları | Duzey |
|---|---|---|---|
| PÖÇ01 | Bilgi - Kuramsal, Olgusal | Tıp ve tıp teknolojileri alanında karşılaşılan bilimsel problemlere, matematik, fen ve mühendislik bilimlerinin güncel ve ileri teknik yaklaşımlarını uygulayarak çözüme ulaştırabilme. | 4 |
| PÖÇ02 | Yetkinlikler - Öğrenme Yetkinliği | Biyomedikal mühendisliği biliminin bir alt bilim dalı ile ilgili literatüre vakıf olma, güncel problemleri tanımlama ve modelleme. | 2 |
| PÖÇ03 | Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı | Verileri çözümleme, deney tasarlama, yapma ve sonuçları yorumlayabilme | 5 |
| PÖÇ04 | Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı | Mühendislik uygulamaları için araştırılan çağdaş teknikleri ve hesaplama araçlarını geliştirme | 5 |
| PÖÇ05 | Beceriler - Bilişsel, Uygulamalı | Tanımlanmış bir hedef doğrultusunda bir süreci çözümleyebilme ve süreç tasarlayabilme. | 3 |
| PÖÇ06 | Yetkinlikler - Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği | Mühendislik bakış açısıyla tıp doktoru ile birlikte bilimsel çalışmalar yapma. | |
| PÖÇ07 | Yetkinlikler - İletişim ve Sosyal Yetkinlik | Kendi bulgularını sözlü ve yazılı, açık ve öz bir şekilde ifade etme. | |
| PÖÇ08 | Yetkinlikler - Öğrenme Yetkinliği | Hayat boyu öğrenmenin önemini benimseyerek, bilim-teknoloji ve çağdaş konular hakkında gelişmeleri izleyerek kendini geliştirebilme. | 4 |
| PÖÇ09 | Yetkinlikler - Bağımsız Çalışabilme ve Sorumluluk Alabilme Yetkinliği | Bağımsız davranma, öncelikleri belirleme ve yaratıcılık becerisi. | 2 |
| PÖÇ10 | Yetkinlikler - Alana Özgü Yetkinlik | Biyomedikal Mühendisliği alanında ulusal ve uluslararası çağdaş bilimsel ve sosyal sorunların farkında olma. | |
| PÖÇ11 | Yetkinlikler - Alana Özgü Yetkinlik | Küresel ve toplumsal çerçevede mühendislik çözümlerinin tıp, tıp teknolojileri ve sağlık alanındaki sorunlara katkılarını değerlendirebilme. |
Haftalık Akış
| Hafta | Konu | Ön Hazırlık | Yöntemler |
|---|---|---|---|
| 1 | Yarıiletken mikrofabrikasyona giriş | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 2 | Kristal üretimi | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 3 | Difüzyon süreci | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 4 | Termal oksitleme süreci | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 5 | Epitaksi yöntemleri | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 6 | Kimyasal buharla serme süreci | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 7 | Fiziksel Buharla Serme, Atomik katman serme | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 8 | Ara Sınavlar | Ders kaynaklarını okuma | Ölçme Yöntemleri: Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi, Yazılı Sınav |
| 9 | Maske tasarımı | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 10 | Fotolitografi yöntemi | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 11 | İyon implantasyonu | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 12 | Dağlama | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 13 | Hızlı termal tavlama | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 14 | Metal serme | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 15 | TCAD benzetimleri | Ders kaynaklarını okuma | Öğretim Yöntemleri: Anlatım, Alıştırma ve Uygulama, Deney / Laboratuvar |
| 16 | Yarıyıl Sonu Sınavları | Ders kaynaklarını okuma | Ölçme Yöntemleri: Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi |
| 17 | Yarıyıl Sonu Sınavları | Ders kaynaklarını okuma | Ölçme Yöntemleri: Ödev, Proje / Tasarım, Performans Değerlendirmesi |
Öğrenci İş Yükü - AKTS
| Çalışmalar | Sayısı | Süresi (Saat) | İş Yükü (Saat) |
|---|---|---|---|
| Ders ile İlgili Çalışmalar | |||
| Ders (Sınav haftaları dahil değildir) | 14 | 3 | 42 |
| Sınıf Dışı Ders Çalışma (Ön çalışma, pekiştirme) | 14 | 5 | 70 |
| Değerlendirmeler ile İlgili Çalışmalar | |||
| Ödev, Proje, Diğer | 0 | 0 | 0 |
| Ara Sınavlar (Yazılı, Sözlü, vs.) | 1 | 15 | 15 |
| Yarıyıl/Yıl Sonu/Final Sınavı | 1 | 30 | 30 |
| Toplam İş Yükü (Saat) | 157 | ||
| Toplam İş Yükü / 25 (s) | 6,28 | ||
| AKTS | 6 AKTS | ||